SAW濾波器

聲表面波濾波器(SAW Filter)是利用壓電陶瓷、鉭酸鋰(LiTaO3)或鈮酸鋰(LiNbO3)、石英等壓電石英晶體振盪器材料的壓電效應和聲表面波傳播的物理特性製成的一種換能式無源帶通濾波器。

        

當壓電基材選定之後,SAW濾波器的工作頻率則由IDT電極條寬度所決定,IDT電極條愈窄,頻率愈高。採用半導體0.35~0.42μm級的精細加工工藝,可製作出10M~2GHzSAW濾波器。

        

在固態材料中,交替的機械形變會產生3,00012,000/秒速度的聲波。在聲濾波器內,對聲波進行導限以產生極高品質因數(Q值可達數千)的駐波(standing waves)。這些高Q值的諧振是聲濾波器的頻率選擇性和低損耗特性的基礎。